原位納米壓痕儀 SEM/AFM/LM

NanoFlip產(chǎn)品既可以工作在真空環(huán)境下進行各種原位力學測試；也可以直接在大氣環(huán)境下測試。NanoFlip可進行硬度和楊氏模量測試、連續(xù)剛度測試（CSM）、力學性能譜圖（Mapping）、納米動態(tài)力學分析（DMA）、劃痕和磨損測試、柱壓縮等測試，可同時將SEM圖像與力學測試數(shù)據(jù)同步。NanoFlip還可以進行快速壓痕測量，這是在惰性環(huán)境（如手套箱）中研究非均相材料的重要手段。

原位納米壓痕儀 SEM/AFM/LM

• KLA NanoFlip產(chǎn)品：*的激發(fā)器的結(jié)構設計，*實現(xiàn)載荷和位移的分別控制和探測，實現(xiàn)納米壓痕檢測，包括動態(tài)力學測試、軟材料測試、及薄膜測試等等。
• 符合ISO14577的國際標準的壓痕測試
• NanoFlip動態(tài)測試附件是由連續(xù)剛度專用技術的發(fā)明人研發(fā)的：動態(tài)力學測試原理為在準靜態(tài)加載過程中，施加在壓頭上一個正玄波，從而表征出隨著壓痕深度、載 荷、時間或者頻率的變化材料力學性能的變化。
• NanoBlitz3D技術，提供每個壓痕在載荷下的楊氏模量、硬度和剛度，大量的測試提高了統(tǒng)計的準確性，自動生成楊氏模量、硬度和剛度Mapping圖，是研究非均相材料研究的重要方法。

硬度和模量測量(Oliver-Pharr）

Nanoflip納米壓痕測量各種材料的硬度和模量，從超軟凝膠到硬涂層。

連續(xù)剛度測試（CSM）

連續(xù)剛度測量用于量化動態(tài)材料特性，如應變率和頻率誘導效應。NanoFlip納米壓頭提供從0.1Hz到1kHz的動態(tài)頻率，根據(jù)深度或頻率連續(xù)測量接觸剛度。

高速材料性能Mapping（3D/4D）

對于復合材料，不同區(qū)域的力學性能差異很大。NanoFlip在X軸和Y軸上提供21mm的樣品臺移動，在Z軸上提供25mm的樣品臺移動，允許在樣品區(qū)域上測試大范圍高度變化的樣品。地形和斷層掃描軟件可以快速生成任何測量機械性能的彩色譜圖。

納米動態(tài)力學分析

聚合物是非常復雜的材料。為了獲得聚合物的有用信息，應在相關背景下對相關樣品進行機械性能測量。納米壓痕測試使這種測量變得更容易，因為樣品可以很小，并且制備所需要的量少。納米壓痕系統(tǒng)可以通過振蕩壓頭與材料接觸的方式來測量聚合物的復合模量和粘彈性性能。

定量劃痕磨損測試

Nanoflip可以對各種材料進行劃痕和磨損測試。涂層和薄膜要經(jīng)過許多加工過程，例如化學和機械拋光（CMP）和金屬絲粘合，以測試這些薄膜的強度和它們在基底上的粘附力。對于這些材料來說，在這些過程中抵抗塑性變形并保持完整而不起泡是非常重要的。

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