掃描器

3x3x1um （ ± 10%）; 10x10x2um（ ± 10%）; 50x50x3 um （ ± 10%）

zui小掃描步長

0.0004 nm; 0.0011 nm; 0.006 nm

掃描類型

樣品掃描式

SPM頭部

AFM

STM:

30pA - 50nA, 4 p時(shí)的ARMS 噪音 （標(biāo)準(zhǔn)的前置放大器）,

10pA - 5nA, 1.5 p時(shí)的ARMS噪音 （低電流前置放大器）

剪切力

光學(xué)觀察系統(tǒng)

數(shù)值孔徑 0.1

放大倍數(shù)58x to 578x

水平視野 5,1~ 0,51mm

控制系統(tǒng)

SPM 控制箱

振動(dòng)隔離系統(tǒng)

集成有被動(dòng)隔離系統(tǒng)

如果需要也可用主動(dòng)隔離系統(tǒng)

操作模式

1.合理的操作模式：

a. 擴(kuò)展電阻成像：這個(gè)模式在表征半導(dǎo)體的應(yīng)用中非常有用，因?yàn)樵谠撃Ｊ较?，我們可以利用W2C 或TiO涂層的硅懸臂來測(cè)得樣品上某一點(diǎn)的導(dǎo)電率，然后和該點(diǎn)的表明形貌進(jìn)行比較。

b.  粘附力模式：在掃描過程中，可以同時(shí)得到力－距離曲線和力的值。

c.  剪切力模式：可以用來實(shí)現(xiàn)SNOW系統(tǒng)。

d. SKM對(duì)半導(dǎo)體表面成分分析十分有用。

e. RM和電壓刻蝕：利用這兩個(gè)模式可以在納米尺度實(shí)現(xiàn)機(jī)械和電壓表面修飾。

2.集成測(cè)量頭

在一次掃描過程中，可以同時(shí)得到4種不同的信息。

掃描器

NT-MDT提供一套用于校正的標(biāo)準(zhǔn)光柵（6片），用其進(jìn)行掃描器的校正和針尖質(zhì)量的控制。。

樣品大小

大樣品也可以進(jìn)行測(cè)量。

光學(xué)觀測(cè)系統(tǒng)

多樣的光學(xué)觀測(cè)系統(tǒng)配置可以*客戶的需求。

針尖與樣品的驅(qū)近

1. 驅(qū)近系統(tǒng)的機(jī)械設(shè)計(jì)可使得經(jīng)過幾次驅(qū)近之后仍然能獲得相同的檢測(cè)區(qū)域。掃描位移大約為500nm，這個(gè)特點(diǎn)可以讓您在幾周內(nèi)仍然能夠研究相同的樣品區(qū)域。

2. 在完成驅(qū)近之后，可以對(duì)所要檢測(cè)的區(qū)域進(jìn)行自動(dòng)掃描，因此實(shí)驗(yàn)人員只需很短的時(shí)間便可以在SPM上獲得檢測(cè)結(jié)果。

3. 允許手動(dòng)驅(qū)近。

電子學(xué)

每個(gè)軸（X,Y和Z）通過2個(gè)16位DAC來實(shí)現(xiàn)22位的掃描精度，再加上極低的系統(tǒng)噪音，所以Solver使用50mm的掃描器也能實(shí)現(xiàn)原子級(jí)分辨率。

計(jì)算機(jī)

我們的顯微鏡可以在任何兼容計(jì)算機(jī)機(jī)上進(jìn)行操作。如果您不想購買額外的計(jì)算機(jī)，那么您還可以將這臺(tái)用于SPM的計(jì)算機(jī)用于其他用途。

軟件

多樣的圖像處理方法；

圖像處理軟件可以在網(wǎng)站免費(fèi)下載；

可以處理DI,PSI, Topometrix和其他SPM廠家的數(shù)據(jù)文件樣本；

可以根據(jù)用戶需要來定制軟件。

隔震系統(tǒng)

在通常的實(shí)驗(yàn)室中，不需要增加額外的隔震系統(tǒng)（在通常的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下就可以得到原子級(jí)圖像）。

其他優(yōu)點(diǎn)

鈦合金結(jié)構(gòu)和*的SPM測(cè)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)提供了zui低的熱漂移，讓您可以打開系統(tǒng)之后馬上就可以開始測(cè)量了。

在這方面，NT-MDT盡全力滿足客戶的期望。