三維光學(xué)輪廓測(cè)量儀是利用光學(xué)顯微技術(shù)、白光干涉掃描技術(shù)、計(jì)算機(jī)軟件控制技術(shù)和PZT垂直掃描技術(shù)對(duì)工件進(jìn)行非接觸測(cè)量，還原出工件3D表面形貌宏微觀信息，并通過軟件提供的多種工具對(duì)表面形貌進(jìn)行各種功能參數(shù)數(shù)據(jù)處理，實(shí)現(xiàn)對(duì)各種工件表面形貌的微納米測(cè)量和分析的光學(xué)計(jì)量儀器。
 

　　三維光學(xué)輪廓測(cè)量儀只需操作者裝好被測(cè)工件，在檢定軟件上設(shè)定物鏡倍率和測(cè)量模式后點(diǎn)擊“開始”按鈕，光學(xué)物鏡會(huì)對(duì)工件表面進(jìn)行自動(dòng)對(duì)焦和非接觸掃描，并按設(shè)定的位置進(jìn)行測(cè)量，軟件界面會(huì)實(shí)時(shí)掃描物體宏微觀表面形貌;掃描結(jié)束后，操作者可通過分析工具對(duì)生成的3D形貌進(jìn)行分析，得到如輪廓、厚度、粗糙度、體積等多種表面形貌測(cè)量分析數(shù)據(jù)。
 

　　三維光學(xué)輪廓儀有精度高、使用方便、功能強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)，采用非接觸式傳感器掃描技術(shù)，用于對(duì)各種產(chǎn)品和部件的表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析，它比傳統(tǒng)的探針式輪廓儀操作更方便，測(cè)量精度更高。
 

　　由于采用非接觸無損的測(cè)量方式，避免了對(duì)被測(cè)物體造成劃痕和磨損，尤其適用于各種柔軟材料、易腐蝕材料和傳統(tǒng)方式無法檢測(cè)的表面形態(tài)測(cè)量和分析。
 

　　還能夠?qū)Ω鞣N表面的工件和材料從宏觀到微觀的進(jìn)行長度、高度、間距、水平距離、垂直距離、角度、圓弧半徑、表面粗糙度等幾何參數(shù)進(jìn)行亞微米、納米級(jí)測(cè)量和分析。
 

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